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Al?O?精密氧化鋁陶瓷基片
氧化鋁陶瓷基片具有良好的絕緣性、絕熱性和耐磨性,因價格相對便宜,且其綜合性能均衡,是應(yīng)用范圍廣泛的陶瓷材料之一
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詳細描述
氧化鋁陶瓷基片具有良好的絕緣性、絕熱性和耐磨性,因價格相對便宜,且其綜合性能均衡,是應(yīng)用范圍廣泛的陶瓷材料之一。高純(99.5%及以上)氧化鋁耐腐蝕和耐等離子體刻蝕性能良好,被廣泛應(yīng)用在泛半導(dǎo)體設(shè)備中。
主要特征:
絕緣性、絕熱性、耐磨性、耐腐蝕性、耐等離子體刻蝕性。
主要應(yīng)用:
泛半導(dǎo)體設(shè)備(LCD和LED等制造設(shè)備)備件、絕緣件、耐磨件、通用機械、液壓部件。
技術(shù)指標 :
主要成分含量 |
99%氧化鋁 |
99.9%氧化鋁 |
|
密度g/cc |
3.86 |
3.93 |
|
吸水率% |
0 |
0 |
|
機械特性 |
維氏硬度GPa |
13.8 |
18.5 |
抗彎強度MPa |
350 |
350 |
|
抗壓強度MPa |
2250 |
2600 |
|
楊氏模量GPa |
330 |
380 |
|
泊松比 |
0.23 |
0.23 |
|
斷裂韌性MPa·m1/2 |
3 |
4~5 |
|
熱學(xué)特性 |
線性膨脹系數(shù)40~400℃*10-6/℃ |
7.1 |
8.2 |
熱傳導(dǎo)率20℃W/(m·K) |
25 |
32 |
|
比熱J/(kg·K)*103 |
0.78 |
0.78 |
|
抗熱沖擊能力 ℃ |
200 |
220 |
|
電學(xué)特性 |
體積電阻率20℃ Ω·cm |
>1014 |
>1015 |
介電強度KV/mm |
16 |
17 |
|
介電常數(shù) |
9 |
9.7 |
|
介電耗損系數(shù)*10-4 |
3 |
1 |